ALD背钝化设备用水冷旋转接头

330系列旋转接头是专门为通水介质而设计的一种旋转接头，它采用两个宽大的滚动轴承支撑并采用了平衡式密封原理设计，可以使工作压力对静环两端面产生压力几乎相等，从而有效地降低密封载荷对密封端面的磨损，延长了使用寿命。H系列旋转接头的零部件均采用了耐腐蚀材料，可适用于有腐蚀性介质的环境。该产品被广泛应用于ALD背钝化设备水冷旋转接头、单晶炉水冷旋转接头、晶体生长炉水冷旋转接头、蓝宝石炉水冷旋转接头等设备。