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化学气相沉积石墨化一体炉
株洲红亚电热设备有限公司
HY
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株洲红亚电热设备有限公司供应
用途：
用途：
本化学气相沉积石墨化一体炉可用于以碳氢气体（如C3H8等）为碳源的复合材料的化学气相沉积，如C/C复合材料、SiC复合材料等的CVD、CVI处理、石墨件的表面增碳处理、石墨烯的生产。
特点：
采用多功能高温设计，可实现化学气相沉积和石墨化处理一次性完成。
使用温度高达2600，并可长时间稳定可靠运行。
采用热电偶和红外测温仪组合的测温自动转换系统，可实现全温度段的显示和控制。
采用IGBT为主功率器件的感应加热变频控制系统，使得设备节能省电，谐波分量小，对外部设备无干扰。
进出气体的精确流量显示和控制，保证了产品的稳定性。
采用特殊结构沉积室，密封效果好，抗污染能力强；
采用多通道沉积气路，流场均匀，无沉积死角，沉积效果好；
特制的过滤系统，对炭沉积过程中产生的焦油、固体粉尘、有机气体等能进行有效处理；
化学气相沉积石墨化一体炉技术参数
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参数 型号 |
HYSJL-3040 |
HYSJL-4050 |
HYSJL-5060 |
HYSJL-6080 |
HYSJL-8080 |
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工作区尺寸DXH（mm) |
Ф300X 400 |
Ф400X 500 |
Ф500X 600 |
Ф600X 800 |
Ф800X 800 |
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|
最高工作温度（℃） |
1500 |
2600 |
1500 |
2600 |
1500 |
2600 |
1500 |
2600 |
1500 |
2600 |
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温度均匀性（℃） |
±7.5 |
±7.5 |
±7.5 |
±7.5 |
±7.5 |
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工作电压(V) |
三相380 |
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额定功率（KW) |
40 |
80 |
60 |
150 |
80 |
160 |
90 |
200 |
160 |
350 |
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工作气氛 |
真空/氩气/氮气/氢气/炳烷/石油天然气 |
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以上化学气相沉积炉技术参数可根据工艺参数进行调整，不作为验收依据，具体以技术方案和协议为准。可将化学气相沉积和高温石墨化两种功能分开，单独做成化学气相沉积炉和高温石墨化炉。 |
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- 品牌：HY
- 发货：3天内