离子注入机用石墨件 高纯石墨产品（异形件）

这家SiC衬底企业获数亿元D轮融资，第三代半导体材料市场爆发在即！

离子注入技术又是近30年来在国际上蓬勃发展和广泛应用的一种材料表面改性技术。用能量为100keV量级的离子束入射到材料中去，离子束与材料中的原子或分子将发生一系列物理的和化学的相互作用。在此过程中，由于离子束的原因，金属部件暴露在离子注入设备中会造成高的损耗，故这时就需要相应的石墨件来作屏蔽罩。

弘竣新材料采用SGL石墨，不仅能为各种离子注入机提供石墨屏蔽罩，且提供各种规格具有高耐腐蚀性的高纯度石墨电极及离子源，这些石墨产品都具有耐腐蚀和纯度高的优点。

为了满足客户的不同需求，弘竣新材料还可根据客户生产的不同规格需求，采用高纯度石墨，精加工方式，保障了石墨件的精度要求。