碳化硅悬臂桨

碳化硅桨，又称碳化硅悬臂桨、碳化硅悬臂梁是一种经过1850℃高温烧结而成的碳化硅陶瓷制品， 然而高温烧结碳化硅陶瓷是一种特殊陶瓷制品，由细颗粒α-SiC和添加剂压制成素坯，在高温下与液态硅接触，坯体中的碳与渗入的Si反应，生成β-SiC，并与α-SiC相结合，游离硅填充了气孔，从而得到高致密性的陶瓷材料；具备工业陶瓷的各种优越性能。其可以在中等浓度的酸或碱介质中使用。

SiC悬臂桨是半导体晶圆装载系统的关键部件。应用于光伏电池设备。