晶圆激光刻号装篮机

专业化的晶圆激光刻号打码专用设备，使用于3-6寸晶圆的软打标或硬打标作业。

叠片式上料，传送式送片，花篮式收料，自动完成叠片到裝篮过程；

支持OCR字符和点阵字符，全自动生产加工；

工业级激光器，稳定可靠，免维护；

光束质量好，标识精细，可读性好；

操作界面友好，PLC全程控制，使用操作方便。

技术参数

技术规格                 项目                 单位                  数字

加工尺寸              晶圆尺寸             inch                 5英寸

激光器功率        激光器出口处          W                    20瓦

激光器波长       红外光纤激光器       nm               1064纳米

                           定位精度              mm               0.05毫米

                           重复精度              mm               0.02毫米

振镜                 最大扫描速度          mm/s         7000毫米/秒

                            振镜类型           数字/模拟    高速数字式振镜