椭偏仪测太阳能电池

规格（SPECIFICATION）：
       - 波长范围：350~850 nm 
       - 入射角：30°~90° （解析度：± 0.01°） 
       - 待测样品尺寸：up to 200mm
       - 精度：1200A SiO2 标准片 
         - 厚度 （Tks）: ± 2.5 A （3σ）
         - 折射率 (N)：± 0.01@ 632.8 nm 
       - 重复性:1200A SiO2 标准片 ( 5 times)
          - 厚度 : ± 2.5 A （3σ）
          - 折射率 : ± 0.005 @ 632.8 nm. 

  应用（APPLICATION）：
       - 太阳能电池: 减反膜工艺 
       - TFT-LCD: SIOx,SiNx,a-Si:H,N+a-Si,Photo Resists...
       - SEMI: 
       - High-k:Al2O3,SiO2,Si3N4,SiNX,HfO2,Ta2O5,ZrO2
       - Low-k: SiOC,SiOF,SOG,BPSG …

供应上海/苏州/无锡/南京/天津/北京/武汉/西安/杭州/济南/广州等地

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